普发真空 Split Flow 系列分流式涡轮分子泵
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摘要
普发真空 Split Flow 分流式涡轮分子泵，以分流结构实现多气路同步高真空控制，兼具高抽速、低振低噪特性，适配半导体制程、科研精密真空系统等场景，可靠，是真空设备的核心适配泵体，助力精密工艺稳定运行。
产品介绍
普发真空 Split Flow 系列分流式涡轮分子泵，它是一款具备气体分流功能的高真空泵，可在高真空环境下对不同气体进行选择性抽排，搭配控制模块实现调控，广泛应用于半导体工艺、科研真空系统等需要精细气体管理的场景，是复杂真空设备的核心部件之一。
真空计多气体灵敏度特性曲线，展示了 N₂、He、H₂、Ar 四种气体在不同压强（p，单位 hPa）下的灵敏度（S）变化规律，用于真空计在多气体环境中的测量校准与精度修正，是真空系统气体检测的核心技术参考曲线之一。
普发真空 Split Flow 系列分流式涡轮分子泵的安装尺寸图纸，标注了该泵的接口规格（如 DN 63 CF-F 真空法兰、G 1/4" 辅助接口）、中间抽气口（M5）及安装孔位（M5 螺栓）等关键尺寸，用于指导该泵在真空系统中的安装与管路适配，是设备集成的技术参考文件。
普发真空 Split Flow 分流式涡轮分子泵接口适配性强：真空端标配 DN 系列 ISO-K 高真空法兰（如 DN63），含中间抽气 / 出气等多通道接口（如 G1/4"）；电气端配备 RS-485 等标准接口，可便捷接入真空控制系统，适配各类精密真空管路与设备集成。
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