普发真空(Pfeiffer Vacuum)的 TSU 61 BP 100 A 涡轮分子泵机组

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摘要

普发真空 TSU 61 BP 100 A 涡轮分子泵机组,集成涡轮泵与前级泵,抽速强劲、极限真空优异,适配多种接口,紧凑耐用。适用于半导体、镀膜、科研等真空场景,低振低噪、免维护,是高可靠的真空系统核心设备。

产品介绍

普发真空(Pfeiffer Vacuum)的 TSU 61 BP 100 A 涡轮分子泵机组。

它属于普发真空的高真空设备系列,是一款用于产生超高真空环境的工业级设备,常用于半导体制造、真空分析、科研实验等对真空度要求极高的领域,具备抽气、稳定运行的特点,其集成化设计便于在各类真空系统中部署。


TSU 61 BP 100 A 涡轮分子泵机组

TSU 61 BP 100 A 涡轮分子泵机组

普发真空 TSU 61 BP 100 A 涡轮分子泵机组,专为 load lock 腔体量身打造,实现短抽真空时间,大幅提升生产效率。机组能耗低、维护工作量极少,保障超长稳定运行时间,降低运维成本。同时尺寸小巧、重量轻盈,节省安装空间,适配多种场景。是、省心的真空系统核心之选!

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