普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵与真空阀门集成单元
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摘要
德国普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵与真空阀门集成单元，高抽速、低振动、低噪音。采用复合 / 磁悬浮轴承，耐用可靠、维护周期长Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions。集成智能驱动与阀门，紧凑一体、安装灵活。适配半导体、镀膜、分析仪器等高 / 超高真空场景。
产品介绍
普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 系列涡轮分子泵与真空阀门集成单元，核心为 HiPace 分子泵，搭配真空阀门实现高真空系统的抽气与通路控制，具备高抽速、集成化特点，适用于半导体、科研等精密真空制程场景。
普发真空小型涡轮分子泵的多气体抽速特性曲线，展示 He、H₂、N₂在不同压强下的抽速变化：高真空段（<10⁻³hPa）抽速稳定，轻气体（如 H₂）随压强上升衰减更快，是小型真空系统（如实验室设备）选型、匹配气体工况的核心性能参考图。
普发真空（Pfeiffer Vacuum）真空阀门的安装尺寸图，对应 DN40 ISO-KF 接口的真空阀门，标注了安装孔位（M5 螺纹）、接口规格及外形尺寸，是真空系统中通路控制部件的集成适配图纸，适用于实验室、半导体等真空设备的管路连接。
小型量产款涡轮分子泵，机身坚固耐用、性能稳定出众，氮气工况抽速可达 10l/s。标配 DN40 标准接口，搭载 24V 集成驱动电子装置，接线操控简洁。无需额外配置冷却系统，结构小巧轻便，支持移动灵活使用，适配实验室仪器、小型真空设备及便携真空系统量产配套。
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