普发真空 HiPace 300 H 涡轮分子泵
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摘要
普发 HiPace 300 H 涡轮分子泵 本品搭载 TC110 驱动,DN100 法兰,氮气抽速 260 l/s,氢气压缩比 10⁷。复合轴承结构,前级耐压最高 30 hPa,可间断节能运行,轻气压缩性能突出,残余背景低。适配质谱、科研超高真空设备,低振动低噪音,任意方向安装,可配套密封气阀、维修包供应,现货 48 小时发货。
产品介绍
它是普发真空(Pfeiffer Vacuum)HiPace 系列的一款高性能真空设备,采用涡轮分子泵技术,对氮气抽速可达 260 L/s,极限压力低于 5×10⁻¹⁰ mbar,集成的风冷设计,广泛应用于半导体制造、科研实验室、真空镀膜等对超高真空要求严苛的领域。

普发真空 HiPace 300 涡轮分子泵的抽速曲线。
该曲线展示了不同气体(N₂、He、H₂、Ar)在不同压强(p,单位 hPa)下的抽速(S,单位 l/s)表现,是评估涡轮分子泵真空性能的关键图表,可帮助用户直观了解泵对不同气体的抽吸能力随压强的变化规律,为真空系统的选型和应用提供数据支撑。

普发真空 HiPace 300 涡轮分子泵的尺寸图纸。
该图纸详细标注了泵体的关键尺寸参数,包括接口规格(如 DN 100 CF-F 进气法兰、DN 16 ISO-KF 前级法兰)、安装孔位(M6×4)及各方向的尺寸数据,用于设备的安装适配与集成设计。

普发 HiPace 300 H 涡轮分子泵
H 代表超高压缩比版本,坚固高性能涡轮分子泵,氮气最大抽速 260 l/s。对轻质气体具备优异压缩能力,适合制取超高真空。搭载 TC110 集成驱动单元,支持任意方位安装,搭配丰富拓展配件,适配各类高真空工况,运行稳定可靠。
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