MTP系列 磁悬浮复合分子泵
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摘要
MTP 系列磁悬浮复合分子泵（中科九微 CBVAC） 中科九微 CBVAC MTP 磁悬浮复合分子泵，采用磁悬浮轴承结构，无油洁净，支持任意姿态安装。整机低振动低噪音，无需定期维护。内置智能控制系统，集成断电保护、故障诊断、温控监测，配备多类型通讯接口。抽速稳定，抗冲击性能优异，适配半导体、真空镀膜、科研超高真空场景，保障真空工艺持续可靠运行。
产品介绍
MTP 系列磁悬浮复合分子泵
中科九微 CBVAC MTP 磁悬浮复合分子泵，依托磁悬浮轴承原理，转子无机械接触，实现无油洁净真空。复合叶轮结构兼顾高抽速与高压缩比，支持任意角度安装，振动噪音，整机长期免维护。集成智能驱动单元，具备断电保护、故障诊断、温度监测功能，搭载多种通讯接口，可接入设备控制系统。抗冲击性能优异，运行稳定可靠，广泛用于半导体工艺、真空镀膜、科研超高真空、表面分析设备，满足洁净真空应用需求。
MTP系列 磁悬浮复合分子泵采用一体式控制器，具有高抽速、高稳定性、耐腐蚀、易安装等优点，被广泛应用于平板显示、PECVD、光学镀膜、卷绕镀膜、材料热处理、材料科学等工业和科研领域。
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