HiPace 700 H涡轮分子真空泵
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HiPace 700 H涡轮分子真空泵
摘要
HiPace 700 H 涡轮分子真空泵：超高真空性能与效率的结合 HiPace 700 H 是 普发真空（Pfeiffer Vacuum） 推出的旗舰级 超高压缩比涡轮分子泵，专为严苛的超高真空（UHV）环境设计，尤其擅长处理轻分子气体（如氢气、氦气）。其革命性的技术突破与工业级可靠性，使其成为半导体制造、真空镀膜、分析仪器、科学研究等高要求领域的理想选择。
产品介绍
HiPace 700 H涡轮分子真空泵
技术规格ISO
抽速
市场和应用
分析及实验室
高能物理,超高真空
半导体应用
PVD检验与计量
金属和高 K 蚀刻LPCVD / 扩散
光刻技术氧化物蚀刻剥离 / 灰化
ALDPECVDSi Poly etch
Load lock 和 传输轻沉积离子注入
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