普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 1603M 全磁浮涡轮分子泵

联系人：	黄先生
手机：	15880223078
邮箱：	mike@xiamenbest.com
传真：	0592-3778298
服务热线：：	0592-6800154
QQ:：	416643690/2440274706
	留言咨询更多信息
分享：

上一条： 分子泵维修

下一条： 普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 2804M 全磁浮涡轮分子泵

关键词： ATH 1603M 五轴全磁浮分子泵

摘要

厦门太星经销德国普发 ATH 1603M 全磁浮涡轮分子泵，五轴磁悬浮 Holweck 级结构，氮气抽速 1600L/s，搭载 DN160 ISO-F 法兰。内置一体化驱动，支持任意角度安装，水冷控温，可远程操控。无油洁净低振动，符合 CE 与 RoHS 标准，适配镀膜、半导体、科研超高真空设备，原装现货，配套维保与替换配件齐全。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 1603M 全磁浮涡轮分子泵。它采用全磁浮技术，具备高真空抽气能力，由德国普发真空公司研发生产，适用于科研、半导体、分析仪器等对高真空环境有需求的领域，是真空技术领域的重要设备之一。

ATH 1603M 五轴全磁浮分子泵

涡轮分子泵的抽速 - 入口压力特性曲线（分气体种类），展示了该涡轮分子泵对 N₂、He、H₂、Ar 四种气体，在不同入口压力（单位 hPa）下的抽速（单位 l/s）变化规律，是体现涡轮分子泵对不同气体抽气能力的核心性能曲线，为真空系统设计与应用提供关键技术参考。

ATH 1603M 五轴全磁浮分子泵

涡轮分子泵的气体流量 - 入口压力特性曲线，也可称为涡轮分子泵的气体通量特性曲线。

该曲线展示了涡轮分子泵在不同入口压力（单位 mbar）下的气体流量（单位 sccm）变化规律，是表征涡轮分子泵气体处理能力的关键性能曲线之一，用于体现泵在不同压力工况下的气体通量表现，属于真空技术领域中涡轮分子泵性能表征的典型图表。

ATH 1603M 五轴全磁浮分子泵

涡轮分子泵的尺寸图纸，属于真空设备的技术规格类图纸。

图纸标注了设备的进出气口（Inlet、Outlet DN 40 ISO KF）、外观尺寸（如直径、长度等参数）、吹扫接口（Purge）等信息，是涡轮分子泵在真空系统中安装、集成和维护的关键参考依据，常用于科研、半导体、真空镀膜等需要高真空环境的领域。

ATH 1603M 五轴全磁浮分子泵

厦门太星供应普发 Holweck 级五轴磁悬浮涡轮泵，氮气抽速最高 1360l/s，DN200 CF-F 法兰适配严苛超高真空工况。搭载 OBC V4 集成驱动，支持任意角度安装，配备水冷与远程操控，无加热设计洁净稳定。整机低振无油免维护，通过 CE 认证、符合 RoHS 标准，适配科研、半导体、光学镀膜设备，原装现货，配套维保配件齐全。

联系我们

ATH 1603M 五轴全磁浮分子泵