普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 1603M 全磁浮涡轮分子泵
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摘要
德国普发真空 ATH 1603M 全磁浮涡轮分子泵，五轴全磁浮轴承，无油免维护。抽速 1400L/s，极限真空＜6×10⁻⁹mbar，转速 39000rpm。低振动低噪音，支持 360° 安装，DN200/250 接口。适配半导体、镀膜、科研超高真空场景，稳定耐用Pfeiffer 普旭。
产品介绍
普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 1603M 全磁浮涡轮分子泵。它采用全磁浮技术，具备高真空抽气能力，由德国普发真空公司研发生产，适用于科研、半导体、分析仪器等对高真空环境有需求的领域，是真空技术领域的重要设备之一。...
涡轮分子泵的气体抽速 - 入口压力特性曲线（分气体种类），展示了某款涡轮分子泵对 N₂、He、H₂、Ar 四种气体，在不同入口压力（p，单位 hPa）下的抽速（S，单位 l/s）变化规律，是体现涡轮分子泵对不同气体抽气能力的核心性能曲线，为真空系统设计与应用提供关键技术参考。
涡轮分子泵的气体流量 - 入口压力特性曲线，也可称为涡轮分子泵的气体通量特性曲线。
该曲线展示了涡轮分子泵在不同入口压力（单位 mbar）下的气体流量（单位 sccm）变化规律，是表征涡轮分子泵气体处理能力的关键性能曲线之一，用于体现泵在不同压力工况下的气体通量表现，属于真空技术领域中涡轮分子泵性能表征的典型图表。
涡轮分子泵的尺寸图纸，属于真空设备的技术规格类图纸。它明确标注了设备的进出气口（Inlet、Outlet DN 40 ISO KF）、外观尺寸（如直径 Φ256、Φ240 等）以及水路接口等信息，是设备安装、集成时的关键参考文档，为真空系统的布局与适配提供寸技术依据。
德国普发真空 ATH 1603M 全磁浮涡轮分子泵，搭载五轴磁悬浮轴承，无油无磨损、近乎免维护。高抽速搭配超高极限真空，运行低噪低震，支持 360° 任意角度安装。适配多款前级泵，适配半导体镀膜、科研实验、超高真空设备等严苛工况，性能稳定、使用寿命长，是真空系统机型。
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