普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 2804M 全磁浮涡轮分子泵

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关键词：全磁浮涡轮分子泵

摘要

德国原装 Pfeiffer ATH 2804M 全磁浮涡轮分子泵，搭载五轴主动磁悬浮轴承，无油免维护、零摩擦低振动，氮气抽速达 2350L/s，极限真空优异。集成电控机身紧凑，8 分钟快速启停，适配各类前级泵，DN250 标准法兰可任意角度安装。洁净无颗粒污染，适配半导体刻蚀、光学镀膜、科研超高真空场景，冷却耗水少，长期运行稳定耐用，设备维保原装高性能真空主泵。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 2804M 全磁浮涡轮分子泵，采用全磁浮技术，具备高真空抽气能力，适用于科研、半导体、分析仪器等对高真空环境要求严苛的领域，是真空技术领域的重要设备之一。

全磁浮涡轮分子泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 2804M 全磁浮涡轮分子泵的抽速 - 入口压力特性曲线（分气体种类）。

该曲线展示了该涡轮分子泵对 N₂、He、H₂、Ar 四种气体，在不同入口压力（单位 hPa）下的抽速（单位 l/s）变化规律，是体现其对不同气体抽气能力的核心性能曲线，为真空系统设计与应用提供关键技术参考。

全磁浮涡轮分子泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 2804M 全磁浮涡轮分子泵的气体流量 - 入口压力特性曲线（分气体种类），展示了该泵对 N₂、He、H₂、Ar 四种气体在不同入口压力（单位 hPa）下的流量（单位 kccm）变化规律，是表征其气体处理能力的关键性能曲线，为真空系统应用提供技术参考。

全磁浮涡轮分子泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 2804M 全磁浮涡轮分子泵的尺寸图纸，属于真空设备技术规格类图纸。图纸标注了进气口（INLET）、排气口（OUTLET）、吹扫接口（PURGE）及各项尺寸参数，是该泵在真空系统安装、集成和维护的关键参考依据，适用于科研、半导体等需高真空环境的领域。

全磁浮涡轮分子泵

五轴磁悬浮涡轮泵搭载 Holweck 牵引级结构，氮气抽速最高 2350L/s，配置 DN250 ISO-F 标准进气法兰。内置一体式电子驱动模块，支持任意方位安装，配备远程控制与水冷结构，无加热设计，运行洁净稳定。整机拥有 CE 认证且完全符合 RoHS 环保标准，低振动无油污污染，适配半导体、光学镀膜等高洁净超高真空工况，长期运行故障率低，设备替换优选。

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