普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 500M 全磁浮涡轮分子泵
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摘要
普发真空 ATH 500M 全磁浮涡轮分子泵，原装进口，五轴全磁浮轴承，无油无摩擦、免维护。氮气抽速 550L/s，极限真空＜1×10⁻⁸hPa，转速 50000rpm。集成驱动，低噪低振，可任意角度安装。适配半导体、超高真空、镀膜及精密分析仪器，风冷 / 水冷可选。
产品介绍
普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 500M 全磁浮涡轮分子泵。
它属于分子泵类别，采用全磁浮技术，具备高真空抽气能力，常用于科研、半导体、分析仪器等需要高真空环境的领域，由德国普发真空公司（Pfeiffer Vacuum）研发生产，该公司是的真空技术解决方案供应商。
普发 ATH 500M 全磁浮涡轮分子泵的气体抽速 - 入口压力特性曲线。它展示了该泵对 N₂、He、H₂、Ar 四种气体，在不同入口压力（p，单位 hPa）下的抽速（S，单位 l/s）变化规律，是体现涡轮分子泵对不同气体抽气能力的核心性能曲线，为真空系统设计与应用提供关键技术参考。...
普发 ATH 500M 全磁浮涡轮分子泵的气体流量 - 入口压力特性曲线，也可称为涡轮分子泵的气体通量特性曲线。
该曲线展示了该泵在不同入口压力（单位 mbar）下的气体流量（单位 sccm）变化规律，是表征涡轮分子泵气体处理能力的关键性能曲线之一，用于体现泵在不同压力工况下的气体通量表现，属于真空技术领域中涡轮分子泵性能表征的典型图表。
普发 ATH 500M 全磁浮涡轮分子泵的尺寸图纸。它属于该泵的技术规格图纸，清晰标注了进出气口位置、设备长宽高等尺寸参数，是真空设备安装集成时的关键参考文档，为设备的部署与系统适配提供了专业的尺寸技术支撑。
普发真空五轴磁悬浮涡轮分子泵，搭载阻力级结构，氮气抽速可达 350L/s。标配 DN100 ISO-K 法兰，衔接便捷。采用紧凑型集成驱动模块，支持安装，配备远程遥控功能。风冷设计运行无额外温升，设备拥有 CE 认证且符合 RoHS 标准，性能稳定，适配各类精密真空工况
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