普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 500M 系列涡轮分子泵

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关键词：涡轮分子泵

摘要

普发真空 ATH500M 系列涡轮分子泵，德国原装，配五轴全磁浮轴承，无油免维护pfeiffervacuum.com。氮气抽速达 550L/s，极限真空＜1×10⁻⁸mbar，低振动低噪音。集成驱动、结构紧凑，可任意安装，支持风冷 / 水冷pfeiffervacuum.com。适配半导体、镀膜、分析仪器等超高真空场景，稳定耐用。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 500M 系列涡轮分子泵，属于高真空获得设备。

它采用涡轮分子泵技术，可在高真空环境下实现抽气，广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析仪器等对真空度要求极高的领域，具备高抽速、低振动、长寿命等特点，是高真空系统的核心部件之一。

涡轮分子泵

涡轮分子泵的抽速 - 压力特性曲线，属于高真空设备的性能图表。

该曲线展示了涡轮分子泵在不同气体（N₂氮气、He 氦气、H₂氢气、Ar 氩气）下，抽气速率（S，单位：l/s）随入口压力（p，单位：hPa）的变化关系，反映了泵在不同工况下的抽气性能，是高真空设备选型和性能评估的重要参考图表。

涡轮分子泵

真空设备的流量 - 入口压力特性曲线，属于真空系统性能图表。

该曲线展示了某真空设备（如真空泵、真空阀等）在不同入口压力（单位：mbar）下的气体流量（单位：sccm）变化关系，反映了设备在不同压力工况下的流量性能，是真空设备选型、性能评估及系统匹配的重要参考图表。

涡轮分子泵

真空涡轮分子泵的尺寸图纸，属于高真空设备的机械设计图纸。

图纸从正视图和俯视图标注了泵体的关键尺寸参数，包括入口（Inlet）、出口接口规格（DN25 ISO-KF）、外形轮廓尺寸（如直径 Ø180 等），用于设备的安装适配、空间布局规划以及技术参数确认，是涡轮分子泵工程应用和机械设计的重要技术文档。

涡轮分子泵

普发真空五轴 磁悬浮涡轮分子泵，搭载阻力级结构设计，氮气抽速可达 350l/s。标配 DN100 ISO-F 连接法兰，内置紧凑型集成驱动装置，支持任意角度安装。适配 Profibus 通讯、水冷配置且无加热设计，符合 CE 及 RoHS 标准，运行稳定洁净，适配超高真空科研与工业工艺场景。

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