普发真空（Pfeiffer Vacuum）的 TSU 系列涡轮分子泵机组
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摘要
普发真空 COBRA 干式涡旋真空泵，采用无油涡旋技术污染，适配双频工况，电机输出保障快速建真空，集成智能控制 + 便携结构，低噪稳定运行，适配高洁净实验、工业真空场景，是可靠的真空动力核心设备。
产品介绍
普发真空（Pfeiffer Vacuum）的 TSU 系列涡轮分子泵机组（具体为 TSU 61 BP 200 A 型号）。
它属于普发真空的高真空设备系列，是用于产生超高真空环境的工业级设备，常用于半导体制造、真空分析、科研实验等对真空度要求极高的领域，具备抽气、稳定运行的特点，其结构设计便于集成到各类真空系统中。
普发真空（Pfeiffer Vacuum）BD 系列隔膜泵的抽速特性曲线。
图中展示了 BD D100 A、BD D300 A、BD D600 A 三款型号的隔膜泵，在不同入口压强（p，单位hPa (mbar)）下的抽速（V˙，单位m 3 /h）变化关系，属于体现其真空性能的技术曲线类资料，帮助用户理解不同型号隔膜泵在各类压强区间的抽气能力。
普发真空（Pfeiffer Vacuum）BD 系列隔膜泵的抽速特性曲线。
图中展示了 BD 0100 A、BD 0300 A、BD 0600 A 三款型号的隔膜泵，在不同入口压强（单位：Torr）下的抽速（单位：ACFM）变化关系，属于体现其真空性能的技术曲线类资料，帮助用户理解不同型号隔膜泵在各类压强区间的抽气能力。
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