普发真空(PFEIFFER VACUUM)HiPace 系列涡轮分子泵
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摘要
普发真空(PFEIFFER VACUUM)HiPace 系列涡轮分子泵,凭借高速涡轮叶片技术与复合轴承设计,可实现 10⁻¹⁰hPa 级超高真空。它对氢、氦等小分子气体抽吸能力强劲,抽速与压缩比表现优异,适配半导体制造、质谱分析、科研实验等多场景。设备支持任意方向安装,具备 IP54 防护与 Semi S2 认证,免维护运行达 4 年,节能且稳定性强,是真空系统的高可靠核心部件。
产品介绍
普发真空(PFEIFFER VACUUM)HiPace 系列涡轮分子泵,是一款高真空获得设备,通过高速涡轮叶片输运气体分子实现超高真空环境,广泛应用于半导体、科研实验等领域,是真空系统的核心部件之一。

普发 HiPace 系列涡轮分子泵的抽速特性曲线,展示了 N₂、He、Ar、H₂等气体在不同压强(单位:hPa)下的抽速(单位:l/s)变化规律,是评估该系列分子泵抽气性能的核心图表,用于真空系统的选型与性能匹配分析。

普发 HiPace 系列涡轮分子泵的安装尺寸图纸,标注了该设备的接口规格(如 DN 100 ISO-K 进气口、DN 16 ISO-KF 排气口)、安装孔位(M8 螺栓)及各部位尺寸参数,用于指导设备在真空系统中的安装与适配。

普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵有多个适配不同场景的产品变体,涵盖不同抽速、功能及安装需求

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