普发真空 HiPace 300 涡轮分子泵

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摘要

普发 HiPace 300 涡轮分子泵采用复合轴承设计,氮气抽速 260L/s,轻气体压缩比高,支持任意方位安装,可选风冷、水冷散热。搭配 TC 驱动单元,IP54 防护,低噪运行,启动迅速,轴承可现场更换。泵体洁净无油,稳定可靠,广泛应用于真空镀膜、分析仪器、半导体、科研超高真空、电子束设备,适配实验室与工业各类高真空工况。

产品介绍

普发真空 HiPace 300 涡轮分子泵。

它是一款高性能真空获得设备,属于普发真空(Pfeiffer Vacuum)HiPace 系列,采用涡轮分子泵技术,具备高抽速(如 N₂抽速达 260 L/s)、低极限真空(可达 5×10⁻¹⁰ mbar)的特点,广泛应用于半导体、科研实验室、真空镀膜等对真空环境要求严苛的领域。


普发 HiPace 300 涡轮分子泵


普发真空 HiPace 300 涡轮分子泵的抽速曲线。

该曲线展示了不同气体(N₂、He、H₂、Ar)在不同压强(p,单位 hPa)下的抽速(S,单位 l/s)表现,是评估涡轮分子泵真空性能的关键图表,可帮助用户...


普发 HiPace 300 涡轮分子泵


普发真空 HiPace 300 涡轮分子泵的尺寸图纸。

该图纸详细标注了泵体的关键尺寸参数,包括接口规格(如 DN 100 ISO-K 进气法兰、DN 16 ISO-KF 前级法兰)、安装孔位(MB 5x)及各方向的尺寸数据,用于设备的安装适配与集成设计。


普发 HiPace 300 涡轮分子泵


普发 HiPace 300 涡轮分子泵

普发 HiPace 300 涡轮分子泵

普发 HiPace 300 涡轮分子泵结构紧凑,高性能设计,氮气最高抽速 260L/s,搭载 TC110 集成电子驱动单元。整机低振动、低磁场,适配要求严苛的各类分析仪器。配件种类丰富,可灵活拓展使用场景。泵体运行稳定,洁净无油,常用于分析仪器、科研高真空、真空镀膜等工况,安装灵活,运维便捷。


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