普发真空（Pfeiffer Vacuum）涡轮分子泵
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摘要
发真空 Pfeiffer Vacuum 涡轮分子泵，高真空核心设备，采用涡轮复合结构，抽速覆盖面广，极限真空性能出色。可选磁悬浮 / 轴承版本，振动低、噪音小，运行稳定耐用。配套控制器实现启停、转速监测与多重保护。适配半导体、真空镀膜、氦检、分析仪器、实验室腔体等高真空场景，为各类精密真空系统提供可靠的高真空获取方案。
产品介绍
普发真空（Pfeiffer Vacuum）涡轮分子泵，属于超高真空获得设备，常用于科研、半导体、分析仪器等领域，用于产生和维持超高真空环境，是精密真空系统的核心组件之一。
涡轮分子泵的多气体抽速性能曲线（抽速 - 压力特性图），用于展示该泵对氮气（N₂）、氦气（He）、氢气（H₂）、氩气（Ar）四种气体，在不同入口压力（单位：hPa）下的抽速（单位：l/s）变化规律。它是评估涡轮分子泵对不同气体抽气能力、进行设备选型的关键技术图表。
普发真空（Pfeiffer Vacuum）涡轮分子泵的安装尺寸图纸，用于标注其各部件的尺寸参数、接口规格（如 DN 16 ISO-KF、DN 100 ISO-F 接口）及安装孔位等信息。该图纸是设备安装、管路对接的技术依据，确保涡轮分子泵与真空系统适配，属于真空设备技术文档中的关键资料。
已按两张图的参数合并整理，并修正了原图中 "氢 / 氦" 混淆的 OCR 错误（压缩比 >1・10¹¹、抽速 255 l/s、流量 8 与 >14 hPa・l/s 均对应氦气 He）。
普发高性能涡轮分子泵结构紧凑，氮气工况最高抽速 260 l/s，搭载 TC110 集成电子驱动单元。具备低振动、低磁场特性，适配要求严苛的分析仪器。支持丰富配件拓展应用场景，搭配普发真空隔振器使用效果更佳。运行稳定，满足精密分析设备高真空需求，是各类分析仪器真空腔体高真空主机。
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