普发真空（Pfeiffer Vacuum）TPS 111 涡轮分子泵电源控制器

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关键词：涡轮分子泵控制器

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普发真空 TPS 111 涡轮分子泵电源控制器

普发 Pfeiffer Vacuum TPS 111 涡轮分子泵电源控制器，为 HiPace 系列分子泵提供专用驱动供电。机架式 3HU 结构，适配标准 19 英寸机柜安装，输出稳定可靠。具备完善保护与通讯功能，实时监测泵体运行状态，抗干扰能力强。广泛用于高真空镀膜、实验室真空、半导体真空系统，保障分子泵长期平稳运行。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）TPS 111 涡轮分子泵电源控制器，是专为普发分子泵设计的驱动电源模块。采用机架式安装，提供稳定的供电与转速控制，支持分子泵的启停、调速及状态监测，适配实验室、半导体等高真空场景，是分子泵系统不可或缺的配套单元。

涡轮分子泵控制器

普发 TPS 111 涡轮分子泵控制器的安装尺寸图纸，标注了设备侧视图与后视图的关键尺寸，以及电源、接口布局。为设备的机架安装、空间规划和接线提供了的技术参考，是设备选型与集成的重要依据。

涡轮分子泵控制器

普发 TPS111 涡轮分子泵电源控制器

普发 TPS111 为 19 英寸机架插入式模块，3HU 高度，自带前方控制板。适配 HiPace 10/60/80 与 SplitFlow 50 分子泵，可同时为多 16 台 DigiLine 真空计供电。运行稳定，自带监测与保护功能，集成通讯接口，适配镀膜、实验室等高真空系统，一体化驱动与真空计供电。

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