普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATP 2300M 涡轮分子泵

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关键词： ATP 2300M 涡轮分子泵

摘要

德国普发真空 ATP 2300M，5 轴全磁悬浮无油涡轮分子泵，氮气抽速最高达 2050 l/s，极限真空 <4×10⁻⁹ mbar，氮气压缩比> 1×10⁸。免维护、低噪低振，支持任意方向安装与水冷，适配轻气体抽运及半导体、镀膜、离子刻蚀等高端工况，稳定高效，是超高真空系统的理想之选。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATP 2300M 涡轮分子泵。

它属于涡轮分子泵品类，是实现超高真空环境的核心设备之一，广泛应用于半导体制造、科学研究等对真空度要求极高的领域。

ATP 2300M 涡轮分子泵

普发真空 ATP 2300M 涡轮分子泵的抽速曲线。

图中展示了该泵对不同气体（N₂、He、H₂、Ar）在不同入口压力（p，单位 hPa）下的抽速（S，单位 l/s）变化关系，是体现其抽气能力随压力和气体种类变化的核心性能曲线之一。

ATP 2300M 涡轮分子泵

涡轮分子泵的流量曲线。

图中展示了气体流量（Flow，单位 sccm）随入口压力（Inlet pressure，单位 mbar）变化的关系，用于体现涡轮分子泵在不同压力下的气体输送流量性能，是其性能表征的重要曲线之一。

ATP 2300M 涡轮分子泵

涡轮分子泵的外形尺寸与接口布局图纸。

图中展示了该泵的剖面（左）和底部（右）视角，标注了入口（Inlet）、出口（Outlet，DN 40 ISO KF 接口）、吹扫口（Purge）、电气接口（Electrical connection）、水接口（Water）等关键部件的位置，以及直径（Ø315）、高度（H）等尺寸参数，用于指导泵的安装、管路连接和空间适配等工程应用场景。

ATP 2300M 涡轮分子泵