普发真空（Pfeiffer Vacuum）的ATH 500M 全磁浮涡轮分子泵
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摘要
普发真空 ATH 500M 全磁浮涡轮分子泵，德国原装，五轴磁悬浮轴承，无油洁净、免维护pfeiffervacuum.com。抽速达 550L/s，极限真空 1×10⁻⁸hPa，低振动低噪音。集成驱动，可任意角度安装pfeiffervacuum.com。适配半导体、镀膜、分析仪器等超高真空场景，稳定耐用。
产品介绍
普发真空（Pfeiffer Vacuum）的ATH 500M 全磁浮涡轮分子泵。
这款设备属于分子泵类别，采用全磁浮技术，具备高真空抽气能力，常用于需要高真空环境的科研、半导体、分析仪器等领域，由德国普发真空公司（Pfeiffer Vacuum）研发生产，该公司是的真空技术解决方案供应商。...
涡轮分子泵抽速 - 入口压力曲线（分气体种类），也可称为普发 ATH 500M 全磁浮涡轮分子泵的气体抽速特性曲线。
图中展示了该泵对不同气体（N₂、He、H₂、Ar）在不同入口压力（p，单位 hPa）下的抽速（S，单位 l/s）变化规律，是涡轮分子泵性能表征的典型曲线，用于体现泵对不同气体的抽...
普发 ATH 500M 全磁浮涡轮分子泵的气体流量 - 入口压力特性曲线，也可称为涡轮分子泵的气体通量特性曲线。
该曲线展示了该泵在不同入口压力（单位 mbar）下的气体流量（单位 sccm）变化规律，是表征涡轮分子泵气体处理能力的关键性能曲线之一，用于体现泵在不同压力工况下的气体通量表现，属于真空技术领域中涡轮分子泵性能表征的典型图表。
普发 ATH 500M 全磁浮涡轮分子泵的尺寸图纸，属于该泵的技术规格图纸，用于展示其外观结构的尺寸参数（如进出气口位置、设备长宽高等），是真空设备安装、集成时的关键参考文档。
五轴磁悬浮涡轮泵搭载阻力级设计，氮气抽速可达 350 l/s，配置 DN 100 ISO-K 标准法兰，对接便捷。采用紧凑型集成驱动，支持任意方位安装。风冷结构无需加热，运行稳定。兼容 Profibus 通讯，拥有 CE 认证且符合 RoHS 标准，安全合规，适配各类超高真空工况。
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