普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 4606M 磁悬浮涡轮分子泵

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关键词：涡轮分子泵

摘要

德国普发真空 ATH 4606M 五轴磁悬浮涡轮分子泵，原厂精工品质，搭载无接触磁悬浮轴承，免维护无油运行，低振低噪，适配精密半导体、大面积镀膜、科研超高真空场景。大抽速、极限真空优异，内置智能温控系统，抑制工艺副产物凝结，断电自储能保护转子，集成驱动结构紧凑易安装，支持远程监测，符合 SEMI、CE 标准，长期运行损耗低、综合使用成本更优。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 4606M 磁悬浮涡轮分子泵。

它属于涡轮分子泵品类，采用磁悬浮轴承技术，具有高抽速、低振动、免维护的特点，可实现超高真空环境，广泛应用于半导体制造、科学研究等对真空度要求极高的领域。

涡轮分子泵

普发真空 ATH 4506 涡轮分子泵的抽速曲线。

图中展示了该泵对不同气体（N₂、Ar、He、H₂）在不同入口压力（p，单位 hPa）下的抽速（l/s）变化关系，是体现其抽气能力随压力和气体种类变化的核心性能曲线之一。

涡轮分子泵

涡轮分子泵的外形尺寸图纸。

图中展示了该泵的两个不同视角的轮廓与尺寸标注（包括直径 “Ø” 和长度 “T” 等参数），用于指导泵的安装、适配设备腔体的空间布局等工程应用场景，属于真空设备（涡轮分子泵）的机械设计图纸范畴。

涡轮分子泵

厦门太星供应高性能五轴磁悬浮涡轮泵，搭载阻力级结构，氮气抽速可达 4500l/s，抽气效率强劲。内置一体化电子驱动单元，机身精简易集成，支持任意角度安装适配各类设备。整机拥有 CE 认证，完全符合 RoHS 环保标准，无油低振免维护，适配镀膜、半导体、科研超高真空工况，原厂品质稳定耐用，售后配套完善。

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