普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 500M 全磁浮涡轮分子泵
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摘要
普发真空 ATH 500M 全磁浮涡轮分子泵｜厦门太星有限公司 原装 Pfeiffer 五轴全磁浮轴承，无接触无润滑，整机洁净无油免维护，氮气抽速最高 550L/s，极限真空可达 10⁻⁸hPa，低振低噪适配精密工艺。支持任意方位安装，风冷 / 水冷、多法兰规格可选，适配半导体、氦检、科研镀膜设备。厦门太星供应全新整机、维修维保与原厂备件，出厂全性能校验，供货稳定。
产品介绍
普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 500M 全磁浮涡轮分子泵。它采用全磁浮技术，具备高真空抽气能力，由德国普发真空公司研发生产，广泛应用于科研、半导体、分析仪器等需要高真空环境的领域，是真空技术领域的关键设备之一。
涡轮分子泵的气体抽速 - 入口压力特性曲线（分气体种类），具体展示了某款涡轮分子泵对 N₂、He、H₂、Ar 四种气体，在不同入口压力（p，单位 hPa）下的抽速（S，单位 l/s）变化规律，是体现涡轮分子泵对不同气体抽气能力的核心性能曲线，为真空系统的设计与应用提供关键技术参考。
涡轮分子泵的气体流量 - 入口压力特性曲线，也可称为涡轮分子泵的气体通量特性曲线。
该曲线展示了涡轮分子泵在不同入口压力（单位 mbar）下的气体流量（单位 sccm）变化规律，是表征涡轮分子泵气体处理能力的关键性能曲线之一，用于体现泵在不同压力工况下的气体通量表现，属于真空技术领域中涡轮分子泵性能表征的典型图表。
涡轮分子泵的尺寸图纸，属于该类真空设备的技术规格图纸。图纸清晰标注了设备的进出气口（Inlet、Outlet DN25 ISO-KF）、外观尺寸（如直径 Φ180 等），是设备安装、集成时的关键参考文档，为真空系统的布局与适配提供了的尺寸技术支撑。
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