普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 3204M 磁悬浮涡轮分子泵

联系人：	黄先生
手机：	15880223078
邮箱：	mike@xiamenbest.com
传真：	0592-3778298
服务热线：：	0592-6800154
QQ:：	416643690/2440274706
	留言咨询更多信息
分享：

上一条： 普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 1603M 全磁浮涡轮分子泵

下一条： 普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 500M 全磁浮涡轮分子泵

关键词：普发 ATH 3204M 涡轮分子泵

摘要

厦门太星供应德国普发 ATH 3204M 五轴磁悬浮涡轮分子泵，DN320 法兰氮气抽速 3050l/s，极限真空优于 1×10⁻⁸ mbar。磁悬浮无接触运转免润滑免维护，低振低噪适配精密工艺，集成驱动模块安装便捷，8 分钟快速启停。水冷低耗、气流量承载强，兼容多款前级泵与 OmniControl 控制器，原装合规 CE/RoHS，适配半导体、镀膜、科研超高真空系统。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 3204M 磁悬浮涡轮分子泵。

它属于涡轮分子泵品类，采用磁悬浮轴承技术，具有高抽速、低振动、免维护的特点，可实现超高真空环境，广泛应用于半导体制造、科学研究等对真空度要求极高的领域。

普发 ATH 3204M 涡轮分子泵

涡轮分子泵的抽速曲线（也叫泵送速度曲线）。

它展示了不同气体（N₂、He、H₂、Ar）在不同入口压力（P，单位 hPa）下的抽速（S，单位 L/s）变化关系，是体现涡轮分子泵对不同气体抽气能力随压力变化的核心性能曲线之一。

普发 ATH 3204M 涡轮分子泵

涡轮分子泵的流量曲线。

图中展示了不同气体（N₂、He、H₂、Ar）在不同入口压力（P，单位 hPa）下的气体流量（Flow，单位 sccm）变化关系，用于体现泵在不同压力下对各类气体的输送流量性能，是涡轮分子泵性能表征的重要曲线之一。

普发 ATH 3204M 涡轮分子泵

涡轮分子泵的外形尺寸图纸。

图中呈现了该泵的俯视（左）和侧视（右）视角的尺寸标注，包含入口（INLET）、出口（OUTLET）、吹扫口（PURGE）的位置，以及关键的外形尺寸参数（如直径 Ø、长度 H 和 P 等），主要用于指导泵的安装以及适配设备腔体的空间布局等工程应用场景。

普发 ATH 3204M 涡轮分子泵

厦门太星经销普发带阻力级五轴磁悬浮涡轮泵，氮气抽速可达 3050 l/s，配备 DN320 ISO-F 标准进口法兰。搭载集成电子驱动单元，支持任意角度安装，水冷远程控制、无需加热。磁悬浮结构低振动长寿命，干式无油获得洁净真空，整机拥有 CE 认证并完全符合 RoHS 标准，适配半导体、镀膜、质谱等各类超高真空精密产线，原装稳定耐用。

联系我们

普发 ATH 3204M 涡轮分子泵