FW60 型分子束外延（MBE）系统

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关键词：半导体薄膜生长

摘要

FW60 型分子束外延（MBE）系统，是高性能半导体薄膜生长设备。支持 4 英寸衬底（可扩展至 6 英寸），12 个束源适配 III-V/II-VI 族及氧化物材料。配备 RHEED 等在线监控，膜厚均匀性≤±1.5%，超高真空腔体保障原子级沉积精度，为光电、微电子材料研发提供稳定可靠的工艺平台。

FW60 型分子束外延（MBE）系统，是高精度半导体薄膜生长设备。可实现原子级沉积，适配多种材料外延制备，常用于半导体、光电材料等前沿领域研发。设备集成真空腔体、束源炉与原位监控模块，性能稳定可靠，为高质量外延薄膜生长提供支撑。

半导体薄膜生长

FW60 型分子束外延（MBE）设备的核心参数表，为高精度半导体薄膜生长系统。支持 4 英寸衬底（可扩展至 6 英寸），最高衬底加热 1050℃，配置 3 个腔体与 12 个束源，可制备 III-V/II-VI 族、氧化物等材料，膜厚均匀性≤±1.5%，适配前沿材料研发。

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