德国普发真空（Pfeiffer Vacuum）PRISMA PRO 系列残余气体分析仪（RGA）
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摘要
德国普发 PRISMA PRO 残余气体分析仪，原装进口，灵敏度高达 3×10⁻¹⁵hPa，高速测量、稳定性强。模块化设计，PV MassSpec 软件易操作，JSON 接口便捷集成。适配半导体、镀膜、泄漏检测等场景。厦门太星供应，技术支持到位，提供可靠气体分析方案。
产品介绍
德国普发真空（Pfeiffer Vacuum）PRISMA PRO 系列残余气体分析仪（RGA），一款高精度四极质谱仪。它可在真空环境中实时监测气体成分、分压与杂质，广泛用于半导体、镀膜工艺和真空系统的过程监控、泄漏排查与质量管控。
普发真空（Pfeiffer Vacuum）**PRISMA PRO 系列残余气体分析仪（RGA）** 的安装尺寸工程图，标注了设备外形尺寸、法兰接口及安装方位，用于半导体、镀膜等真空设备的集成安装，是安装与集成的关键参考图纸。
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