普发真空（Pfeiffer Vacuum）PRISMA PRO 系列残余气体分析仪

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关键词：四极杆质谱仪

摘要

 普发真空（Pfeiffer Vacuum）PRISMA PRO 系列残余气体分析仪

普发 PRISMA PRO 为四极杆型残余气体分析仪，模块化结构，搭载双灯丝，检测分压可达 3×10⁻¹⁵hPa，可选法拉第与二次电子倍增检测器。配套 PV MassSpec 软件，支持以太网与 JSON 开放接口，便于集成。可定性定量分析真空内残余气体，完成腔体检漏、杂质监测。设备紧凑稳定，适配半导体、真空镀膜、真空炉、实验室研发等高真空工艺气体检测场景。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）PRISMA PRO 系列残余气体分析仪，是高精度质谱检测设备。它能快速定性、定量分析真空系统内气体成分，灵敏度高、稳定性强，常用于真空检漏、镀膜工艺监控与半导体设备检测。厦门太星供应原装，为您提供专业的真空检测解决方案。

四极杆质谱仪

普发真空（Pfeiffer Vacuum）PRISMA PRO 残余气体分析仪的工程尺寸图，标注了设备关键外形与安装尺寸。该设备可分析真空系统内气体成分，灵敏度高、稳定性强，常用于检漏、镀膜工艺监控。厦门太星供应原装，为您提供专业的真空检测解决方案。

四极杆质谱仪

普发真空（Pfeiffer Vacuum）PRISMA PRO 系列残余气体分析仪

普发 PRISMA PRO 残余气体分析仪配套 PV MassSpec 软件，适配 Windows10/11，可记录、保存、可视化测量数据。一键启动检漏与真空诊断，支持便捷自定义测量配方，设备检测下限优异。模块化设计，搭载双灯丝，可选法拉第与二次电子倍增检测器，以太网通讯搭配 JSON 开放接口，便于系统集成。用于半导体、真空镀膜、实验室研发，完成腔体杂质监测、残余气体定性定量分析。

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