Pfeiffer PrismaPro® 四极质谱仪(真空残余气体分析仪)

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摘要

厦门太星供应 Pfeiffer PrismaPro 四极质谱仪,真空残余气体分析仪,模块化结构,检测下限可达 3×10⁻¹⁵hPa,高速响应、300℃可烘烤。搭载 PV MassSpec 软件,以太网多接口易集成,适配半导体、镀膜、实验室腔体检漏与杂质定量监测,双灯丝耐用稳定,原厂现货,配套技术支持,保障真空工艺质控。

产品介绍

Pfeiffer PrismaPro® 四极质谱仪(真空残余气体分析仪),是真空系统的核心气体分析部件。

普发真空Pfeiffer Vacuum)出品的 PrismaPro® 质谱仪,可在高真空环境下检测残余气体成分与分压,适配半导体、真空镀膜、科研实验室等场景。它集成四极杆分析技术与真空法兰接口,具备高灵敏度与宽量程,能实时监控真空腔体内气体组分,是保障真空工艺稳定性与可靠性的关键分析设备。

PrismaPro 四极质谱仪


Pfeiffer PrismaPro® 残余气体分析仪(RGA),是真空系统的高精度气体组分检测设备。

普发真空(Pfeiffer Vacuum)的 PrismaPro® 质谱仪,采用四极杆分析技术,可在高真空环境下检测残余气体成分与分压。它兼容标准真空法兰接口,具备高灵敏度与宽量程,能实时监控真空腔体内气体组分,广泛应用于半导体制造、真空镀膜、科研实验室等场景,是保障真空工艺稳定性与可靠性的核心分析设备。


PrismaPro 四极质谱仪


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