BUSCH 普旭 COBRA DS 5161–9161 A/B/F 系列干式螺杆真空泵
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螺杆真空泵
摘要
BUSCH 普旭 COBRA DS 5161–9161 A/B/F 系列干式螺杆真空泵，无油洁净抽气，油污染。螺杆结构稳定，极限真空度高，运行噪音低。模块化设计便于维护，可选 A/B/F 不同规格适配多样工况，广泛用于半导体、镀膜、化工、科研等高洁净工业场景，是可靠的真空动力设备。
产品介绍
德国 BUSCH 普旭 COBRA DS 8161 F 干式螺杆真空泵，专为高洁净工业场景设计。无油干式结构污染，抽速搭配低极限真空，运行稳定耐用。模块化维护便捷，适配半导体、镀膜、化工气相沉积等严苛制程，是洁净真空系统的可靠动力源。
性能出色：的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用：拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，水冷却，高氢气吞吐量 结构紧凑：密闭式设计，直联的罐装电机
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