日本卡西亚玛KASHIYAMA SDE1220-011工业用干式螺杆真空泵

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摘要

卡西亚玛（KASHIYAMA）SDE1220-011 是一款日本制造的干式螺杆真空泵，属于 SDE 系列。该系列真空泵以其高可靠性和生产力，已成为半导体制造业与液晶显示（FPD）制造行业的标准设备。

核心规格参数

· 几何抽速：20,000 L/min

· 极限压力：0.5 Pa

· 电源电压：3相 AC200～220V 或 380～480V

· 耗水量：4-8 L/min

· 重量：340 kg

· 外形尺寸 (宽×高×长)：400 mm × 780 mm × 930 mm

主要应用与特点

· 适用场景：非常适合大尺寸晶圆和 FPD 基板使用，能够经得起各种严苛工艺的考验。

· 工艺应用：广泛应用于半导体刻蚀工艺、低压化学气相沉积（多晶硅制备）等。

· 无油清洁：作为干式真空泵，它可用作一般无油清洁真空系统的前级泵，有效防止油污染，并能将工艺中产生的微粒排出泵外。

· 防腐与冷却：针对可能产生腐蚀性气体或热敏性物质的工艺，泵体采用了防腐材质或涂层，并具备独特的冷却系统以维持合适的温度。

关于采购与维修

· 价格：该设备属于大型工业设备，不同渠道的报价差异较大。部分平台参考报价为 100,000.00 元/台，但多数情况为面议，具体成交价格会因购买数量、规格及线下协议等因素变化。

· 售后维修：国内（如福建厦门等地）有专业提供该型号真空泵维修、保养的厂家，通常提供本地化维修服务、技术咨询以及一定期限的延保服务。