COBRA DS 0600 E干式螺杆真空泵
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摘要
COBRA DS 0600 E 干式螺杆真空泵是你的理想之选! 这款真空泵运用螺杆设计,运行品质。其抽速高达 600m³/h ,能快速构建稳定真空环境,提升工作效率。极限真空可达 0.01mbar ,可满足极为严苛的真空要求。 它采用间接水冷方式,能控制泵体温度,适应各种工艺变化。而且,间接水冷系统稳定可靠,无需频繁维护,有效降低了使用成本。在结构设计上,直接安装的罐装电机使整体布局紧凑,占地空间小,便于融入各类设备系统。 不仅如此,COBRA DS 0600 E 干式螺杆真空泵适用范围极为广泛。在半导体制造领域,助力芯片生产、化学气相沉积等精密工艺;在平板显示器生产中,满足等离子增强化学气相沉积、有机发光二极管制造等环节的真空需求;还能用于锂离子电池生产,保障电池制造过程的稳定性。同时,在生物沼气处理、压力摆动吸附提纯等场景中,也有出色表现 。 选择 COBRA DS 0600 E 干式螺杆真空泵,就是为你的业务发展增添强劲动力!
产品介绍
COBRA DS 0600 E干式螺杆真空泵
技术规格
ISO 50 HzISO 60 Hz
尺寸图
COBRA DS 0600 E
抽速
空气温度为 20°C 时, 公差:± 10%
市场和应用
半导体应用
金属和高 K 蚀刻
LPCVD / 扩散
ALD
PECVD
Si Poly etch
配件
· 适用于严苛应用的 Tantal 涂层
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