普旭(Busch)COBRA DL 系列干式螺杆真空泵
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摘要
普旭 COBRA DL 系列干式螺杆真空泵,以无油螺杆技术打造洁净真空环境。集成罗茨泵组合,适配化学气相沉积等工艺;水冷系统保障高氢气吞吐量,运行稳定可靠。低维护成本、长保养间隔,搭配密闭式结构设计,安装灵活紧凑,是工业真空应用的理想选择。
产品介绍
普旭(Busch)COBRA DL 系列干式螺杆真空泵,包含 2000G、3010E/5161A、3181A 三款型号。采用无油螺杆技术,抽速覆盖广,极限真空高,适用于光伏、半导体等工艺场景,是高洁净、低维护的工业真空主力设备。

真空机组采用螺杆设计,搭配集成罗茨泵,性能优异,适配化学气相沉积等严苛工况。设备可靠性强,水冷却,氢气吞吐量大,拥有成本低、维护少、保养间隔长,可保障长时间稳定运行。密闭式结构与直装密闭电机,整体底座集成安装,灵活紧凑,安装便捷,是工业真空应用的理想选择。

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