普发真空（Pfeiffer Vacuum）的 COBRA DS 0160 G 干式螺杆真空泵
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摘要
普发真空 COBRA DS 0160 G 干式螺杆真空泵，额定抽速 140m³/h，极限真空 0.03mbar，采用无油非接触自平衡一体式螺杆。间接水冷控温，耐粉尘颗粒，抽氢性能优异，屏蔽电机，维护周期长。专为半导体 CVD、ALD、RTP 等严苛工艺打造，结构紧凑稳定，适合粉体与含氢工艺前级真空，运行可靠，综合使用成本低。
产品介绍
普发真空（Pfeiffer Vacuum）的 COBRA DS 0160 G 干式螺杆真空泵
普发真空 COBRA DS 0600 E 干式螺杆真空泵，额定抽速 600m³/h，极限真空 0.01mbar，采用无油非接触一体式螺杆结构，间接水冷散热，抽氢能力突出，耐粉尘颗粒。适配半导体 CVD、ALD、RTP 等严苛制程，运行稳定、维护周期长，洁净无油污染，是大流量半导体工艺前级真空设备。
的螺杆设计，出色的运行品质，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用, 拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，水冷却，高氢气吞吐量, 密闭式设计，直接安装的密闭式电机
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