德国普旭（Busch）Cobra Semicon 系列干式螺杆真空泵
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摘要
德国普旭（Busch）Cobra Semicon 系列干式螺杆真空泵，源自德国精工，专为半导体、太阳能等严苛工艺打造。采用专利自平衡螺杆与非接触干式设计，无油、抽速强劲、氢气吞吐量大。水冷却、维护少、保养间隔长、连续运行稳定。结构紧凑密闭、直联罐装电机，适配 CVD、RTA、ALD 等精密制程，是高洁净真空场景的核心。
产品介绍
德国普旭（Busch）Cobra Semicon 系列干式螺杆真空泵，专为半导体、光伏等高洁净工业设计，无油结构避免污染，抽气效率高、运行稳定，是高真空工艺的核心设备。
本款真空泵采用螺杆设计，搭配集成罗茨泵，性能强劲稳定，适配化学气相沉积、快速热退火、原子层沉积等精密工艺。水冷却，氢气吞吐量大，拥有成本低、维护少、保养间隔长，设备连续运行可靠。整体密闭式结构与直联罐装电机，体积紧凑、安装灵活，是半导体及精密镀膜领域的理想真空设备。
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