COBRA DS 1200 A 是普发真空（Pfeiffer Vacuum）生产的一款干式螺杆真空泵
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摘要
普发 COBRA DS 1200 A 干式螺杆真空泵，无油洁净真空设计，搭载专利自平衡螺杆，1200m³/h 大抽速、极限真空 0.003hPa，钽涂层螺杆耐腐抗粉尘。间接水冷控温稳定，氢气吞吐能力优异，一体化罐式电机结构紧凑低震低噪。保养周期长、运维成本低，适配半导体刻蚀、CVD、光伏镀膜等高温腐蚀制程，自带氮气吹扫密封，适配严苛工艺，设备稼动率更高。
产品介绍
COBRA DS 1200 A 是普发真空（Pfeiffer Vacuum）生产的一款干式螺杆真空泵。它凭借干式无油的运行方式， 有效避免了油蒸汽污染，能提供清洁的真空环境，适用于半导体制造、真空镀膜、分析仪器等对真空环境要求较高的领域 。此外，其具备稳定的抽气性能，在多种工况下都能可靠运行。
普发真空（Pfeiffer Vacuum）DS 1200 A、DS 1800 A 、DS 1800 A X 型号干式螺杆真空泵的抽气速率 - 压力特性曲线对比图。横坐标 “p” 代表压力，单位为 hPa（mbar） ，纵坐标 “Ṽ ” 代表抽气速率，单位是m 3 /h
，展示了不同型号真空泵在不同压力条件下的抽气速率变化情况，便于对比各型号性能表现。
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