普发真空（Pfeiffer Vacuum）COBRA DS 1800 A 干式螺杆真空泵

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关键词：干式螺杆真空泵

摘要

普发真空 COBRA DS 1800 A 干式螺杆真空泵，是面向半导体、平板显示等严苛工况的核心真空设备。它集成罗茨泵结构，峰值抽速约 1700 m³/h，耐粉尘、抗腐蚀，可处理高温气体与颗粒物。整机采用钽涂层螺杆，寿命长、维护少，运行稳定且运营成本低，是高真空制程的理想选择。

产品介绍

普发真空（Pfeiffer Vacuum）COBRA DS 1800 A 干式螺杆真空泵（也归属普旭 Busch COBRA 系列），为集成罗茨泵的组合式干泵，专为半导体、平板显示、太阳能等严苛工艺设计。它采用螺杆结构与钽涂层，耐粉尘、抗腐蚀，可处理高温气体与颗粒物，具备低运营成本、长寿命、少维护等优势，是高真空制程的核心设备。

干式螺杆真空泵

普发真空（Pfeiffer Vacuum）COBRA DS 1800 A / DS 1200 A 系列干式真空泵的抽速 - 压力特性曲线。图中展示了两款型号在不同真空压力（p，单位 hPa）下的抽气速率（Ṽ，单位 m³/h）：DS 1800 A/AX 峰值抽速约 1700 m³/h，DS 1200 A 峰值约 1200 m³/h，均在中真空区间（约 0.1~1 hPa）达到最大抽速，适用于半导体、镀膜等高真空工艺场景。

干式螺杆真空泵