普发真空 COBRA DS 0160 G 干式螺杆真空泵
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摘要
普发真空 COBRA DS 0160 G 干式螺杆真空泵，专为半导体严苛工艺打造，适配 CVD、ALD 等场景pfeiffervacuum.com。额定抽速 140/160m³/h，极限真空 0.03mbar，间接水冷控温。专利自平衡螺杆，无油，耐粉尘腐蚀pfeiffervacuum.com。结构紧凑，直联屏蔽电机，安装便捷，维护成本低，高氢吞吐，性能稳定pfeiffervacuum.com
产品介绍
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