COBRA DS 1200 A 是普发真空(Pfeiffer Vacuum)生产的一款干式螺杆真空泵

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关键词: 干式螺杆真空泵

摘要

普发真空 COBRA DS 1200 A 干式螺杆真空泵,抽速 1200m³/h,极限真空≤0.003mbar,集成罗茨增压,干式无油、耐粉尘与腐蚀,适配半导体、镀膜、锂电、光伏等高要求工艺。低噪节能、维护间隔长、运行稳定,紧凑一体化设计,安装便捷、长期可靠,是制造真空系统。

产品介绍

COBRA DS 1200 A 是普发真空(Pfeiffer Vacuum)生产的一款干式螺杆真空泵。它凭借干式无油的运行方式, 有效避免了油蒸汽污染,能提供清洁的真空环境,适用于半导体制造、真空镀膜、分析仪器等对真空环境要求较高的领域 。此外,其具备稳定的抽气性能,在多种工况下都能可靠运行。

干式螺杆真空泵


普发真空(Pfeiffer Vacuum)DS 1200 A、DS 1800 A 、DS 1800 A X 型号干式螺杆真空泵的抽气速率 - 压力特性曲线对比图。横坐标 “p” 代表压力,单位为 hPa(mbar) ,纵坐标 “Ṽ ” 代表抽气速率,单位是m 3 /h

,展示了不同型号真空泵在不同压力条件下的抽气速率变化情况,便于对比各型号性能表现。


干式螺杆真空泵


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