PFEIFFER(普发真空)COBRA DS 1800 A 干式螺杆真空泵

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关键词: 干式螺杆真空泵

摘要

PFEIFFER 普发真空 COBRA DS 1800 A 干式螺杆真空泵,集成罗茨增压模块,采用无油非接触式螺杆结构,洁净无油污染。水冷温控设计可有效防止工艺气体冷凝,适配半导体、真空镀膜等高要求场景。机身配备滚轮与吊环,移动吊装便捷,LCD 控制器支持本地 / 远程监控,稳定可靠,是工业真空制程的设备。

产品介绍

PFEIFFER(普发真空)COBRA DS 1800 A 干式螺杆真空泵(也归属 Busch 普旭 COBRA 系列),专为半导体、镀膜等工业场景设计。它采用无油非接触式螺杆结构,集成罗茨增压泵,抽速且真空洁净,水冷温控稳定,可防工艺气体冷凝。机身带滚轮与吊环,移动吊装便捷,LCD 控制器支持本地 / 远程启停,适配重负荷连续作业,是真空制程的可靠选择。

干式螺杆真空泵

普发真空(Pfeiffer Vacuum)DS 系列真空泵(DS 1200 A、DS 1800 A / DS 1800 A X)的抽速 - 压力性能曲线,展示了不同型号真空泵在不同压力(单位:hPa/mbar)下的抽速(单位:m³/h)表现,可用于选型等场景。


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