德国 Busch(普旭)品牌的COBRA DS 1200 A 干式螺杆真空泵
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摘要
德国 Busch 普旭 COBRA DS 1200 A 干式螺杆真空泵,专为半导体、光伏与平板显示严苛工艺打造。集成罗茨泵与涂层螺杆,耐高温、抗粉尘,适配刻蚀、CVD 等高要求场景。直联电机设计紧凑低振,长保养周期、低能耗高氢吞吐,大幅降低运维成本,提供稳定的工业级真空保障。
产品介绍
德国 Busch(普旭)品牌的COBRA DS 1200 A 干式螺杆真空泵,属半导体级产品。采用无油干式设计,集成真空助力器,能应对 250℃高温气体,适配刻蚀、CVD 等严苛工艺,具备优秀的粉末处理能力,广泛用于半导体、光伏和平板显示行业。

德国 BUSCH 普旭 COBRA DS 1200 A 干式螺杆真空泵,专为半导体、光伏与平板显示打造。集成罗茨泵与 tantal 涂层螺杆,耐高温、抗粉尘,适配刻蚀、CVD 等严苛工艺。直联罐装电机,结构紧凑低振;长保养周期、低能耗高氢吞吐,大幅降低运行成本,是稳定可靠的工业级真空解决方案。

德国 BUSCH 普旭 COBRA DS 1200 A 干式螺杆真空泵,专为半导体、光伏与平板显示打造。集成罗茨泵与 tantal 涂层螺杆,耐高温、抗粉尘,适配刻蚀、CVD 等严苛工艺。直联罐装电机,结构紧凑低振;长保养周期、低能耗高氢吞吐,大幅降低运行成本,是稳定可靠的工业级真空解决方案。
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