德国 Busch（普旭）品牌的COBRA DS 1200 A 干式螺杆真空泵

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关键词：干式螺杆真空泵

摘要

德国 Busch 普旭 COBRA DS 1200 A 干式螺杆真空泵，专为半导体、光伏与平板显示严苛工艺打造。集成罗茨泵与涂层螺杆，耐高温、抗粉尘，适配刻蚀、CVD 等高要求场景。直联电机设计紧凑低振，长保养周期、低能耗高氢吞吐，大幅降低运维成本，提供稳定的工业级真空保障。

产品介绍

德国 Busch（普旭）品牌的COBRA DS 1200 A 干式螺杆真空泵，属半导体级产品。采用无油干式设计，集成真空助力器，能应对 250℃高温气体，适配刻蚀、CVD 等严苛工艺，具备优秀的粉末处理能力，广泛用于半导体、光伏和平板显示行业。

干式螺杆真空泵

德国 BUSCH 普旭 COBRA DS 1200 A 干式螺杆真空泵，专为半导体、光伏与平板显示打造。集成罗茨泵与 tantal 涂层螺杆，耐高温、抗粉尘，适配刻蚀、CVD 等严苛工艺。直联罐装电机，结构紧凑低振；长保养周期、低能耗高氢吞吐，大幅降低运行成本，是稳定可靠的工业级真空解决方案。

干式螺杆真空泵

德国 BUSCH 普旭 COBRA DS 1200 A 干式螺杆真空泵，专为半导体、光伏与平板显示打造。集成罗茨泵与 tantal 涂层螺杆，耐高温、抗粉尘，适配刻蚀、CVD 等严苛工艺。直联罐装电机，结构紧凑低振；长保养周期、低能耗高氢吞吐，大幅降低运行成本，是稳定可靠的工业级真空解决方案。

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