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关键词: 干式螺杆真空泵

摘要

普发 Pfeiffer COBRA DS 2000 G 干式螺杆真空泵
普发 COBRA DS 2000 G 一体式干式螺杆泵,搭载集成增压机组,额定抽速 1640m³/h,极限真空 0.003mbar,适配半导体、光伏镀膜严苛工况。一体式铸造成型螺杆无积尘死角,耐粉尘腐蚀,无油洁净抽气;间接水冷控温稳定,氢气流通量大。整机一体化底座占地紧凑,低震低噪,维护周期长、运营成本低,适配 ALD、PECVD、刻蚀等真空产线,长期连续运行稳定性出众。

产品介绍

COBRA DS 2000 G 是普发真空(Pfeiffer Vacuum)生产的一款螺杆真空泵的型号名称

干式螺杆真空泵


普发真空(Pfeiffer Vacuum)DS 系列螺杆真空泵(如 DS 0700 G、DS 1000 G、DS 2000 G 等型号)的抽速 - 压力性能曲线,展示了不同型号真空泵在不同压力(p,单位 hPa/mbar)下的抽速(V^,单位 m³/h)情况。

干式螺杆真空泵


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