安捷伦真空计 PVG-500S
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摘要
安捷伦真空计 PVG-500S，作为真空测量设备，具备宽量程覆盖与高精度监测能力，响应迅速且稳定性强。适配工业制程、科研实验等场景，支持多种信号输出与远程控制，安装便捷，兼容主流真空系统接口。依托安捷伦品术积淀，为真空压力监测提供可靠保障，是精密真空应用的设备。
产品介绍
安捷伦真空计 PVG-500S
PVG-500S 皮拉尼规管
Agilent PVG-500/500S（钨）/502S（镍）系列皮拉尼规实现了在紧凑的设计中对与坚固耐用的结合。PVG-500 系列采用进的数字皮拉尼技术和不锈钢传感器设计，可以满足今日市场的各种需求。
特性指标（核心优势）
1. 测量性能优势
宽量程覆盖：5×10⁻⁴~1000 mbar (3.75×10⁻⁴~750 Torr)，一站式满足中低真空全量程测量需求
高精度核心区间：10⁻³~100 mbar 范围精度达 ±15%，确保关键工艺测量准确性
极速响应：80 ms 快速捕捉压力变化，实时监控真空状态，适合精密制程控制
2. 结构与可靠性
不锈钢传感器 + 金属密封馈通：抗腐蚀耐高温，适应严苛工业环境，延长使用寿命
紧凑铝制外壳：重量轻 (约 80g)，支持任意方向安装，便于系统集成
烘烤能力：最高 250°C (带线缆和磁铁)，便于系统清洁维护，提升设备利用率
3. 操作与兼容性
一键校准：大气压和高真空快速校准，简化设置流程，降低操作门槛
多种输出：标准 0-10.3V 对数信号 (1.286V/decade)，兼容各类控制系统
可选设定点功能：支持压力阈值触发控制，实现自动化生产流程
镍丝版本 (PVG-502S) 可选：专为腐蚀性环境设计，扩展应用场景
技术指标（详细参数）
1. 测量参数
测量原理：皮拉尼 (Pirani) 热传导式，钨丝传感器 (PVG-500S)
精度分级：
100-1000 mbar: ±50%
10⁻³-100 mbar: ±15%（核心测量区间）
5×10⁻⁴-10⁻³ mbar: ±50%
重复性：10⁻³-100 mbar 区间，误差≤62%（空气环境）
2. 电气特性
输出信号：0-10.3V DC (对数关系)，测量范围对应 1.9-10.0V
输出阻抗：小负载 10kΩ，短路保护设计，增强系统稳定性
供电要求：14-30V DC，纹波≤1Vpp，功耗≤1W
电气接口：FCC 68/RJ45 八针阳型连接器，便于即插即用
线缆长度：大支持 100 米，灵活布局系统
3. 物理与环境参数
真空接口：标准 KF16 法兰 (DN 16 ISO-KF)，适配主流真空系统
工作温度：5-60°C（典型应用环境）
存储温度：-20~+65°C，适应严苛运输与仓储条件
尺寸 (mm)：45 (宽)×20.9 (高)×70.3 (深)，节省安装空间
重量：约 80g (不含线缆)，轻量化设计
4. 功能参数（PVG-500S 版本）
设定点数量：2 个，可独立设置压力阈值
设定点范围：2×10⁻³~500 mbar，覆盖主要工作区间
滞后：<10%（相对于设定点），确保控制稳定性
继电器规格：30V DC/0.5A DC，可直接驱动小型设备
开关时间：<20ms，快速响应控制指令
应用领域
半导体制造、真空镀膜、科研设备、工业真空系统、医疗设备等需要中低真空精确测量与控制的场景，尤其适合对稳定性、响应速度和可靠性要求高的精密工艺环境。
外形图
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