安捷伦离子泵 VacIon Plus 20

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关键词：安捷伦离子泵 VacIon Plus 20

摘要

安捷伦 VacIon Plus 20 离子泵，20L/s 抽速可直达超高真空，无活动部件设计零振动、免维护。低漏电流 + 低磁场辐射，适配精密仪器无干扰。支持三种泵型、多接口可选，经高温洁净处理，稳定性拉满。安捷伦品质保障，广泛应用于 SEM/TEM、半导体制造、真空镀膜等场景，是科研与工业精密真空需求的设备！

产品介绍

安捷伦离子泵 VacIon Plus 20

VacIon Plus 20

安捷伦的 VacIon Plus 离子泵系列具有适合各种抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode VacIonPlus 离子泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode VacIonPlus 离子泵用于以恒定的压力抽除混合气体的超高真空应用中，因此适合在粒子加速器、同步加速器环和表面分析应用中提供超高真空。StarCell 的专利设计使其成为能抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。它还能以最高速度和最大容量抽除甲烷、氩气和氦气。StarCell VacIon Plus 离子泵适合需要在 10 -8 mbar 或以上压力下稳定工作的应用。