安捷伦 9515106 泄漏阀

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摘要

安捷伦 9515106 泄漏阀是精密流体控制设备,采用全金属结构与镀金不锈钢膜片设计,密封性能且耐腐蚀性强。具备高精度泄漏率调节功能,重复性优异,死体积小,支持 450℃烘烤处理。操作便捷、维护成本低,可适配超高真空至高压工况,广泛应用于分析仪器、半导体、化工等领域。依托安捷伦品牌品质保障,为严苛工艺提供稳定可靠的流体控制解决方案。

产品介绍

安捷伦 9515106 泄漏阀

安捷伦

特性

用于特殊阀应用

范围从大气压到低于 10-11 Torr (mbar)

具有手动和气动型号

在灵敏度 1 x 10-10 std cc/s 的氦质谱检漏仪上未检测到泄漏

最大流导 6 L/m

可烘烤至 450 °C

部件型号

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