Agilent 安捷伦真空泵隔离阀
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摘要
安捷伦真空泵隔离阀 安捷伦 VPI 真空泵隔离阀，适配 TriScroll、IDP 系列涡旋干泵，包含 NW25、NW40 法兰规格。阀门具备快关慢开逻辑，断电自动闭合，有效阻隔返流介质，保护腔体与分子泵。通导性能优异，密封可靠，多用于质谱、氦检、镀膜精密真空系统，是真空管路关键安全配件。
产品介绍
真空泵隔离阀 (VPI)
安捷伦真空隔离阀 (VPI) 与机械泵采取并联方式电连接，并且在断电时可以快速关闭，从而防止油返流或颗粒进入您的真空系统。该阀门还从入口侧对泵排空，这样可以将碎屑全部推向出口，从而防止碎屑在泵重启时被冲入系统中。阀体设计和直角式构造提供了最大的真空流导。
安捷伦 VPI 隔离阀特性
1. 快关慢开控制逻辑，断电快速关阀，避免冲击真空腔体
2. 适配 NW25、NW40 法兰，匹配 TriScroll、IDP 涡旋干泵
3. 阻断返流，防止污染物倒灌，保护分子泵与精密工件
4. 通导能力高，对系统抽速影响小，密封性能稳定
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