普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 4506M 磁悬浮涡轮分子泵
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摘要
普发真空 ATH 4506M 磁悬浮涡轮分子泵，依托磁悬浮技术实现无接触运行，大幅降低摩擦与噪音，能耗更优。具备高抽速、高压缩比优势，极限压力可达 10⁻¹⁰mbar，提供洁净真空环境。配备智能监控与自动平衡系统，安装维护便捷，适配半导体、真空镀膜、科研实验等多领域，是稳定可靠的真空解决方案。
产品介绍
普发真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 4506M 磁悬浮涡轮分子泵。
它属于涡轮分子泵品类，采用磁悬浮轴承技术，具备高抽速、低振动、免维护的特性，可实现超高真空环境，广泛应用于半导体制造、科学研究等对真空度要求极高的领域。
普发真空 ATH 4506 涡轮分子泵的抽速曲线。
图中展示了该泵对不同气体（N₂、Ar、He、H₂）在不同入口压力（p，单位 hPa）下的抽速（l/s）变化关系，是体现其抽气能力随压力和气体种类变化的核心性能曲线之一。
涡轮分子泵的外形尺寸图纸。
图中展示了该泵的两个不同视角的轮廓与尺寸标注（包含直径 “Ø” 和长度 “T” 等参数），用于指导泵的安装、适配设备腔体的空间布局等工程应用场景，属于真空设备（涡轮分子泵）的机械设计图纸范畴。
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