安捷伦离子泵 VacIon Plus 40
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摘要
安捷伦 VacIon Plus 40 离子泵,专为超高 / 极高真空系统打造,抽速达 34-40 L/s,极限压力低至 <1×10⁻¹¹ mbar。无活动部件设计实现无振动运行,低漏电流 + 低磁场确保稳定性,适配多类气体。支持 350℃烘烤,安装灵活,8 万小时长寿命,广泛适用于 SEM、科研及高能物理领域,提供可靠真空解决方案。
产品介绍
安捷伦离子泵 VacIon Plus 40
VacIon Plus 40
安捷伦的 VacIon Plus 离子泵系列具有适合各种抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode VacIonPlus 离子泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode VacIonPlus 离子泵用于以恒定的压力抽除混合气体的超高真空应用中,因此适合在粒子加速器、同步加速器环和表面分析应用中提供超高真空。StarCell 的专利设计使其成为能抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。它还能以最高速度和最大容量抽除甲烷、氩气和氦气。StarCell VacIon Plus 离子泵适合需要在 10 -8 mbar 或以上压力下稳定工作的应用。

抽气适配性强:可选用星形、二极管等三种不同抽气单元,能针对性适配各类气体混合物,实现对应抽速,氮气抽速最高达 40L/s,极限压力低至 < 1×10⁻¹¹ mbar。
运行稳定低干扰:无活动部件,运行时无振动;低漏电流保障真空压力读数稳定,低磁场设计最大程度减少对周边系统的干扰,还适配 SEM 专用超低漏电流版本。
安装定制灵活:配备 2.75 英寸非旋转式法兰与可选接口,支持高压馈通等多种定制,可搭配光学屏蔽挡板等配件,适配不同系统安装需求。
耐用性出色:经 400℃以上真空处理,专用陶瓷绝缘子延长使用寿命,StarCell 型号工作寿命可达 8 万小时,支持 350℃烘烤,安装前真空完整性有保障。
核心泵体部件号及说明
9191210(二极管型):基础款二极管抽气单元,氮气抽速 40 L/s,适配常规气体抽除场景,最高启动压力≤1×10⁻³ mbar。
9191213(带额外端口二极管型):在二极管型基础上增加 2.75 英寸 CFF 端口,拓展系统连接灵活性,满足多接口使用需求。
9191214(无磁体二极管型):不含内置磁体,适配对磁场敏感的特殊真空系统,保持二极管型核心抽气性能。
9191240(StarCell 型):专利星形抽气单元,氮气抽速 34 L/s,针对惰性气体优化,使用寿命长达 8 万小时,适配复杂气体混合物场景。
9191243(带额外端口 StarCell 型):StarCell 抽气单元 + 额外 2.75 英寸 CFF 端口,兼顾惰性气体抽速与系统扩展需求。
9191244(无磁体 StarCell 型):无内置磁体设计,搭配 StarCell 抽气单元,适配磁场敏感环境下的多气体抽除需求。
控制与连接部件号及说明
控制单元:9297000(单泵 120V 负极)、9297004(双泵 220V 负极)、9297002(单泵 120V 正极)、9297006(双泵 220V 正极),适配不同供电与泵组数量需求。
迷你控制器:9290191(120V)、9290290(220V),紧凑型设计,满足简易参数控制与状态监测需求。
高压电缆:9290705(4m)、9290707(7m)、9290708(10m)、9290709(20m),耐辐射可烘烤设计,带联锁功能,保障高压连接安全稳定。
替换与配件部件号及说明
9595125(高压馈通件):带联锁功能,用于高压信号传输,适配泵体与控制系统连接,减少腐蚀风险。
9190071(120V 加热器)、9190070(220V 加热器):输入功率 250W,支持泵体烘烤升温,保障真空系统清洁度。
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