安捷伦离子泵 VacIon Plus 300
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摘要
安捷伦 VacIon Plus 300 离子泵，抽速最高达 300 L/s，极限真空低至 < 1×10⁻¹¹ mbar，轻松满足 UHV/XHV 场景需求。无活动部件设计搭配 8 万小时超长寿命，低振动低干扰，稳定耐用且几乎免维护。三种抽气单元可选，支持定制化配置，适配半导体、粒子物理、电子显微镜等科研与工业高端真空应用，是高效可靠的真空解决方案。
产品介绍
安捷伦离子泵 VacIon Plus 300
VacIon Plus 300
安捷伦的 VacIon Plus 离子泵系列具有适合各种抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode VaclonPlus 离子泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode VaclonPlus 离子泵用于以恒定的压力抽除混合气体的超高真空应用中，因此适合在粒子加速器、同步加速器环和表面分析应用中提供超高真空。StarCell 的专利设计使其成为能抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。该泵同样可以最高速度和最大容量处理甲烷、氩气和氦气。StarCell Vaclon Plus 离子泵适合需要在 10 -8 mbar 或以上压力下稳定工作的应用。
安捷伦 VacIon Plus 300 离子泵核心特性
极致真空性能：抽速达 300 L/s，极限真空低至 < 1×10⁻¹¹ mbar，满足超高真空场景需求；
超长耐用免维护：无活动部件设计，使用寿命高达 8 万小时，低振动低干扰，运维成本极低；
灵活适配多场景：三种抽气单元可选，支持定制化配置，兼容半导体、科研实验等多领域；
稳定可靠易操作：搭载智能监控系统，运行状态实时可视，安装便捷且适配复杂工况，性能持续稳定。
安捷伦 VacIon Plus 300 离子泵部件号及功能说明
核心抽气单元
部件号 9191641（StarCell 三极型）：适配惰性气体与氢气混合场景，星形阴极提升氩气、氦气传输效率，抽速达 240 L/s，满足粒子物理、半导体制造需求。
部件号 9192622（Noble Diode 改进型二极）：侧重残留惰性气体抽除，搭配低温面板，水蒸气抽速大幅提升，适用于高洁净真空系统。
二极型单元：适配氢气抽速优先场景，系统少泄漏或排气的通用 UHV/XHV 应用，保障基础真空性能。
辅助功能部件
部件号 9240122M001（高压电缆）：配套高压传输，适配 Fischer/SHV 接头，确保泵体与控制器稳定连接。
100-240V 加热器（580W）：支持 350℃烘烤，适配高洁净度需求场景，保障真空密封性。
8 英寸 CFF 法兰（NW150）：含双法兰、侧孔选项，适配多方向真空穿导，兼容不同系统安装需求。
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