安捷伦复合离子泵 VacIon Plus
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摘要
安捷伦复合离子泵 VacIon Plus，集成离子泵与 TSP 泵芯双重技术，极限真空低至 < 1×10⁻¹¹ mbar，覆盖多气体抽排。无运动部件设计实现无振动运行，搭配 350℃高温烘烤功能，洁净度与稳定性拉满。8 万小时超长寿命，支持多类型法兰与定制化配置，适配科研、半导体、电子显微镜等场景，是超高真空系统的可靠之选。
产品介绍
安捷伦复合离子泵 VacIon Plus
核心工作原理：泵内升华器通过通电等方式加热钛材，使其升华后沉积在冷却的泵体壁面，形成新鲜钛膜。这层钛膜能与氮、氧、一氧化碳等活性气体强烈反应生成稳定化合物，从而实现抽气。但钛膜仅能单分子层吸附气体，且对惰性气体和甲烷基本无吸附效果，需持续生成新钛膜才能维持抽气。
核心优势：结构简单，不同类型升华器适配不同场景，像辐射加热钛球升华器利用率可达 70%；运行时无油污染、无振动噪声还抗辐射，契合高洁净需求场景；抽速表现出色，大型泵抽气速率能达数十立方米每秒，搭配液氮冷却时，抽速更是比水冷却提升 1 - 4 倍。
主要应用场景：在电子器件制造、高能加速器、可控热核反应装置等领域广泛应用。如今还拓展到半导体晶圆刻蚀、新能源电池电极镀膜等工业场景，同时也是质子治疗加速器等医疗设备，以及深空探测相关空间模拟装置的关键配套设备。
常见使用要点：需在 1 - 10⁻² 帕的预真空环境下启动，暴露大气压后要以 300 - 400℃温度烘烤 12 - 24 小时去气；常与溅射离子泵等配合使用来弥补对惰性气体吸附不足的缺陷；超高真空环境下多采用断续升华模式，既能保证抽气效果，又能减少钛材消耗。
部件号及说明
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