安捷伦离子泵 VacIon Plus 200
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摘要
安捷伦 VacIon Plus 200 离子泵：专为超高 / 极高真空（UHV/XHV）场景设计，极限真空 < 1×10⁻¹¹mbar，可选三种泵芯元件适配不同气体抽速需求。优化磁场设计实现快速抽真空，经真空烧制减少氢气逸出，无运动部件且低磁干扰。适配 8 英寸 CFF 法兰，寿命达 8 万小时，是半导体、粒子加速、表面分析等精密设备的可靠真空核心。
产品介绍
安捷伦离子泵 VacIon Plus 200
VacIon Plus 200
作为离子泵技术，我们的创新技术已成为行业标杆，现在推出了 Agilent VacIon Plus 200 泵，合各种 XHV（极高真空）和 UHV（超高真空）应用。VacIon Plus 200 是市面上能够在低压下（10-8 mbar 范围内）达到大抽气速率的泵。该泵提供 Diode、Noble Diode 或 StarCell 泵元件和 8 英寸 ConFlat 入口法兰。Diode 和 Noble Diode 配置具有市面上小的占地面积，可轻松完成安装。磁场经过优化且具有更出色的均匀性，并且引入“真空烧制”热处理，使得 VacIon Plus 200 在同类泵中具有的真空性能。VacIon Plus 200 泵可采用的安捷伦 4UHV 控制器进行操作，其能够改变高压以便在各种压力范围内驱动离子泵至该电压，实现大抽气速率。
特性
安捷伦 VacIon Plus 200 离子泵，核心特性包括：适配超高 / 极高真空（UHV/XHV），极限真空 < 1×10⁻¹¹mbar，可选 Star Cell/Noble Diode/Diode 三种泵芯（对应 N₂抽速 180/185/200 L/s），优化磁场 + 真空烧制工艺减少氢气逸出，无运动部件、低磁干扰，8 英寸 CFF 法兰，寿命达 8 万小时。
典型备件号（以加热器为例）：X3601-68007（适配带侧孔的 VacIon Plus 200，120V），用于辅助泵体控温。
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