安捷伦离子泵 VacIon Plus 大型

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下一条： 安捷伦真空计 571 B-A

关键词：安捷伦离子泵

摘要

安捷伦 VacIon Plus 大型离子泵，是超高真空系统核心设备，极限压力低至 1×10⁻¹¹ 托，抽速强劲且无油污染，适配宽量程气体抽排。采用耐用型离子源设计，支持多台并联扩容，安装维护便捷，广泛应用于半导体制造、科研实验、真空镀膜等场景，为精密真空工艺提供稳定可靠的超高真空解决方案。

产品介绍

安捷伦离子泵 VacIon Plus 大型

概述

一、大型 VacIon Plus 泵

安捷伦大型 VacIon Plus 离子泵具有从 150 到全新 1000 L/s 的氮气抽速范围，并具有 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode Vaclon Plus 泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode Vaclon Plus 离子泵用于以恒定的压力抽除混合气体的超高真空应用中，因此非常适用于粒子加速器、同步加速器环和表面分析等应用。专利设计的 StarCell 是能同时抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。该泵同样可以最高速度和最大容量处理甲烷、氩气和氦气。StarCell Vaclon Plus 离子泵适合需要在 10–8 mbar 或以上压力下稳定工作的应用。

安捷伦离子泵