安捷伦真空计 571 B-A

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关键词: 安捷伦真空计

摘要

安捷伦真空计 571 B-A 是高精度真空测量设备,适配宽量程真空环境,响应迅速、数据稳定,支持多种接口适配各类真空系统,兼具耐用性与易操作性,是科研、半导体制造等场景的可靠真空监测方案,助力把控真空工艺。

产品介绍

安捷伦真空计 571 B-A

571 B-A 型规管

B-A 型热阴极电离规管采用加热灯丝作为电子源。Agilent 571 B-A 型标准量程电离规管可以在 2 x 10 -10 1 x 10 -3 torr 的真空范围内提供出色的性能。571 规能在工作温度下承受长时间的脱气或意外暴露于大气中,仍可恢复原始特性。此外,还提供在低于 5 x 10 -6 torr 真空下校准规,用于测试真空计控制器。

安捷伦真空计

安捷伦真空计 571 B-A 核心介绍

应用场景:适配超高真空环境监测,广泛用于半导体制造、科研实验装置、真空镀膜等场景,可匹配真空系统的压力监控需求。

核心技术:采用 Bayard-Alpert 电离规管设计,搭载氧化钇涂层铱灯丝,兼具抗氧化性与耐用性,支持与真空控制器配套使用,还提供密封参考规版本用于设备测试。

性能优势:测量量程覆盖 2×10⁻¹⁰至 1×10⁻³ 托(约 2.6×10⁻¹⁰至 1.33×10⁻³ 毫巴),高 X 射线极限确保低压力下读数。可耐受长时间除气或工作温度下的大气暴露,且能恢复原始性能,稳定性突出。

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