安捷伦真空计 563 B-A

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关键词：安捷伦真空计

摘要

安捷伦 563 B-A 真空计是一款高性能 Bayard-Alpert 型真空测量设备，凭借加热灯丝电子源与玻璃外壳铂涂层设计，实现 2×10^-10 至 1×10^-3 torr 的超宽压力测量范围。具备出色灵敏度与低 X 射线限值，数据可靠，适配科研实验、半导体制造等对真空环境要求严苛的场景。依托安捷伦品牌品质保障，安装便捷、稳定性强，是真空系统测量的设备。

产品介绍

安捷伦真空计 563 B-A

563 B-A 型规管

安捷伦 563 B-A 型热阴极电离规管采用加热灯丝作为电子源。该规管在 2 x 10 -10 至 1 x 10 -3 torr 的压力范围内具有卓越的性能。玻璃壳体内部使用铂涂层，可以在较低压力下为真空规提供静电屏蔽，同时又可释放高压下可能积聚的静电。此外，还提供在低于 5 x 10 -6 torr 真空下的校准规，用于测试真空规控制器。

安捷伦真空计

安捷伦 563 B-A 真空计特性：采用 Bayard-Alpert 技术，测量范围覆盖 2×10^-10 至 1×10^-3 torr 超宽区间；加热灯丝电子源搭配玻璃外壳铂涂层，灵敏度高、X 射线限值低，数据；结构设计稳定可靠，适配科研、半导体等多场景真空系统，安装便捷且长期运行性能优异，是真空测量领域的高品质选择。

安捷伦 563 B-A 真空计核心性能指标

测量范围：覆盖 2×10^-10 至 1×10^-3 torr（对应 2.6×10^-10 至 1.3×10^-3 mbar），适配超高真空至中真空测量场景。

灵敏度：标准值为 10 (torr)^-1 / (mbar)^-1，保障微量压力变化的捕捉。

X 射线限值：低至 2×10^-10 torr，有效减少背景干扰，提升极端真空环境下的测量准确性。

核心配置：采用加热灯丝电子源，搭配玻璃外壳铂涂层设计，兼顾稳定性与抗干扰能力。

适配性：可与专用真空计控制器配套使用，兼容科研、半导体制造等多场景真空系统。

外形图

安捷伦真空计